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半导体/电子特气领域纯化设备供应商
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HON-XCDA-S/W/V系列XCDA纯化器
工艺介绍:
(1)使用特殊纯化材料,通过吸附方式脱除H2O、NMHC、挥发性酸VA、挥发性碱VB、耐熔化合物RC、总有机碳TOC等杂质。
(2)吸附反应器吸附饱和后可加热再生,反复使用。
(3)该气体纯化系统通过现场原位再生和先进的技术,以高可靠性、低成本及高性能,有效的脱除CDA中的污染杂质,满足客户现场需求
(4)多柱交替吸附、再生,可连续供气。
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