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半导体/电子特气领域纯化设备供应商
CRYO-H-S系列氢气纯化器
系列 Series |
杂质 Impurity |
入口 Inlet(ppm) |
出口 Outlet(ppb) |
CRYO-H-S |
O2 |
<1 |
<10 |
N2 |
<5 |
<10 |
|
CO |
<1 |
<10 |
|
CO2 |
<1 |
<10 |
|
THC |
<1 |
<10 |
|
H2O |
<3 |
<10 |
|
PARTICLES |
-- |
≤10pcs/m3, 0.003μm |
|
Pressure Drop |
<1bar |
||
Flow |
10~300Nm3/h |
工艺介绍:
(1)通过物理吸附方式脱除O2、CO、CO2、H2O、N2、THC等杂质。
(2)吸附反应器吸附饱和后可通氢加热再生,反复使用。
(3)反应温度为液氮温度。
应用领域:
半导体、LED、激光、太阳能光伏行业
气体行业
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