HON-CO2-S/W/VVV系列二氧化碳纯化器
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系列 Series |
杂质 Impurity |
入口 Inlet（ppm） |
出口 Outlet（ppb） |
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HON-CO2-S/W/VVV |
O2 |
＜3 |
＜1 |
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H2 |
＜1 |
＜1 |
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CO |
＜1 |
＜1 |
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CH4 |
＜0.5 |
-- |
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H2O |
＜3 |
＜1 |
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挥发性酸VA |
-- |
＜0.005 |
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挥发性碱VB |
-- |
＜0.5 |
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耐熔化合物RC |
-- |
＜0.005 |
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可冷凝有机物Corg |
-- |
＜0.15 |
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不凝有机物Ncorg |
-- |
＜1 |
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Flow |
10～3000Nm3/h |
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工艺介绍：
（1）使用特殊纯化材料，通过物理和化学吸附方式脱除O2、CO、H2O、H2、挥发性酸VA、挥发性碱VB、耐熔化合物RC、可冷凝有机物Corg、不凝有机物Ncorg等杂质。
（2）吸附反应器吸附饱和后可通氢加热再生，反复使用。
（3）多柱交替吸附、再生，可连续供气。
应用领域：
纯化用于半导体应用的二氧化碳
气体行业
